我們知道地球大氣層上有一層臭氧層，科學家們已經發現臭氧層能吸收紫外線，研究表明臭氧僅對波長253.7nm的紫外線具有大吸收系數，在此波長下紫外線通過臭氧會產生衰減，符合蘭波特--比爾定律。該方法已被美國等國家作為臭氧標準分析方法。
臭氧檢測儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
臭氧檢測儀的檢測原理有半導體原理（英國E2V）、電化學檢測原理、紫外光法原理等。這里主要來介紹的是第三種方法，即紫外光法。
電源部分主要是產生紫外燈需要的高壓電源，同時產生電路板上需要的+15V直流電。紫外燈燈控部分主要是控制紫外燈燈電流在恒定允許范圍之內，過高、過低可以自動調節，如果調不了說明紫外燈壽命到了，面板上有一個紅燈變亮，提示你應該更換新的紫外燈了。標準紫外光檢測和采樣紫外光檢測部分也是較關鍵部分。光電傳感器把紫外線的光信號轉換為電壓信號，然后經兩次運算放大器進行信號整理放大，送給LOG100進行計算處理后，顯示輸出。模擬輸出0——20mA與臭氧濃度大小是成線性關系的。
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